CHINMAX PRODUCT

中茂儀器股份有限公司 代理經銷各種膜厚測試儀器
乾燥製程設備、 環境測試設備、腐蝕試驗設備、 各種泛用型儀器

簡易型導電膜濺鍍機

產品特色

SC-701MK II ECO
  • 電子顯微鏡樣品製作備用塗布機
  • 一件操作簡單
  • 採用磁控陰極減少離子損傷
  • 體積小、重量輕
【日本SANYU快速濺鍍機】

使用脈衝直流電漿濺鍍。其主要原理是在真空環境,將陰極加至數百伏特電壓,讓通入的氣體因高電壓而起輝光放電作用形成電漿,並利用電漿的正離子轟擊金屬靶材表面,以能量轉移方式,將靶材原子擊出而濺射沉積於工件上,進行薄膜沉積。

SC-701MK II

ターゲットサイズ 49mm dia. / Aux1
試料台サイズ 50mm dia.
(T-S間調節範囲 20,30, 40mm)
排気操作 手動式
スバッタ方式 DCマグネトロン/平行平板型
間欠スバッタ機構 Duty cycle 20%
高圧電源 1.2kv/0~9.9Ma
到達圧力 5Pa
チャンバーサイツ 90(dia.)x90(depth)mm
(SUS製)
タイマー 0~15 min (最長30min)
ガス導入機構 ニードルバルブ
導入口径外径Φ6mm ワンタッチ継手
排気装置 直結型ロータリーホンブ
20L/min(自動リーク付)
設置電源 单相AC100V±10% 50/60Hz 7A
寸法‧重量 本体:160(W)x326(D)x286(H)mm, 10kg
PP:295.5(W)x156(D)x199.5(H)mm. 9kg
オブションターゲット Ag, Pt, Pd, Au-Pd, Pt-Pd

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