CHINMAX PRODUCT
中茂儀器股份有限公司 代理經銷各種膜厚測試儀器
乾燥製程設備、 環境測試設備、腐蝕試驗設備、 各種泛用型儀器
全自動離子鍍膜機
產品特色
SC-701AT
- 從真空排氣到徒步(蝕刻),釋放到大氣中,可自動進行
- 濺鍍膜厚控制連動機制,塗佈均勻再現性優
- 配備鍍膜/蝕刻模式
- 可應用電極鍍膜
- 排氣操作完全自動化
【日本SANYU快速濺鍍機】
使用脈衝直流電漿濺鍍。其主要原理是在真空環境，將陰極加至數百伏特電壓，讓通入的氣體因高電壓而起輝光放電作用形成電漿，並利用電漿的正離子轟擊金屬靶材表面，以能量轉移方式，將靶材原子擊出而濺射沉積於工件上，進行薄膜沉積。
SC-701AT
| ターゲットサイズ | Φ49mm dia. ／ Au X1 |
|---|---|
| 試料サイズ |
70mm dia. (高さ調節範囲 － 15, 20, 60mm) |
| 排気操作 | 全自動 |
| スバッタ方式 | DCマグネトロン／平行平板型 |
| 膜厚設定方式 |
オートブリセット方式 デジタル表示膜厚モニター付 |
| 高圧電源 | 1kv ／ 0～20mA |
| 到達圧力 | 1Pa以下 |
| チャンバーサイズ |
120(dia.)x120(depth)mm (ステンレス製) |
| タイマー | 0～15 min連続 |
| ガス導入機構 | ニードルバルブ |
| 排気装置 |
直結型ロータリーホンブ 20L／min(自動リーク付) |
| 設置電源 | 单相AC100V 50／60Hz 10A |
| 寸法‧重量 |
本体：225(W)x420(D)x320(H)mm, 15kg PP：300(W)x160(D)x200(H)mm. 9kg |
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