CHINMAX PRODUCT

中茂儀器股份有限公司 代理經銷各種膜厚測試儀器
乾燥製程設備、 環境測試設備、腐蝕試驗設備、 各種泛用型儀器

8吋濺鍍機

產品特色

SC-708(BMP)
  • 4~8英吋離子鍍膜機適用於對大型樣品的整個表面進行鍍膜(蝕刻),釋放到大氣中,可自動進行
  • 根據樣品尺寸和數量
  • 可選擇4、5、6、7、8、1英吋單位可應用電極鍍膜
  • 配備鍍膜/蝕刻模式
  • 支持PDMS表面處裡行成微通道流道以及濺射薄膜製造
【日本SANYU快速濺鍍機】

使用脈衝直流電漿濺鍍。其主要原理是在真空環境,將陰極加至數百伏特電壓,讓通入的氣體因高電壓而起輝光放電作用形成電漿,並利用電漿的正離子轟擊金屬靶材表面,以能量轉移方式,將靶材原子擊出而濺射沉積於工件上,進行薄膜沉積。

SC-708(BMP)

ターゲットサイズ 4~8 インチdia.
試料サイズ 4~8 インチdia.
排気操作 自動式
スバッタ方式 DCマグネトロン/平行平板型
高圧電源 0.8 1.4kv / 0~50mA
到達圧力 8Pa
チャンバーサイズ 240(dia.)x240(depth)mm
(ステンレス製)
タイマー 0~15 min連続
ガス導入機構 ニードルバルブ
排気装置 直結型ロータリーホンブ
100L/min(自動リーク付)
設置電源 单相AC100V 50/60Hz 10A
寸法‧重量 本体:282(W)x450(D)x440(H)mm, 20kg
PP:460(W)x175(D)x265(H)mm. 22kg

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