CHINMAX PRODUCT

中茂儀器股份有限公司 代理經銷各種膜厚測試儀器
乾燥製程設備、 環境測試設備、腐蝕試驗設備、 各種泛用型儀器

3D共軛焦顯微鏡

產品特色

KFM-XPERT
  • 兼具共軛焦及白光干涉測定科技,非接觸,非破壞及快速量測特點。
  • 微結構物高解析3D測定只需幾秒間。
  • 可測定高/低反射、透明表面之微結構。
  • Z軸解析度精度:0.01um to 0.1nm(依搭配鏡頭決定)。
  • 可測定參數項目:粗度、膜厚、斷差、2D/3D剖面、輪廓形貌、間隙溝深、角度、平/共面度、彎/翹曲...
【應用領域】
  • 生物工程、半導體科技、光電科技、MEMS、光學製造、奈米工程、鋼鐵、汽車、塑膠、造紙業
  • 量測項目:結構組織量測、粗度量測、3D形貌幾何量測
  • 適用區段:入料檢查、生產管制、製程改善、品質檢驗、故障分析、產品R/D及學術研究

微透鏡陣列

牙本質表面

陶瓷加工

雷射蝕刻

觸控面板電路

POP錫球結構

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