CHINMAX PRODUCT
中茂儀器股份有限公司 代理經銷各種膜厚測試儀器
乾燥製程設備、 環境測試設備、腐蝕試驗設備、 各種泛用型儀器
8吋濺鍍機
產品特色
SC-708(BMP)
- 4~8英吋離子鍍膜機適用於對大型樣品的整個表面進行鍍膜(蝕刻),釋放到大氣中,可自動進行
- 根據樣品尺寸和數量
- 可選擇4、5、6、7、8、1英吋單位可應用電極鍍膜
- 配備鍍膜/蝕刻模式
- 支持PDMS表面處裡行成微通道流道以及濺射薄膜製造
【日本SANYU快速濺鍍機】
使用脈衝直流電漿濺鍍。其主要原理是在真空環境，將陰極加至數百伏特電壓，讓通入的氣體因高電壓而起輝光放電作用形成電漿，並利用電漿的正離子轟擊金屬靶材表面，以能量轉移方式，將靶材原子擊出而濺射沉積於工件上，進行薄膜沉積。
SC-708(BMP)
| ターゲットサイズ | 4～8 インチdia. |
|---|---|
| 試料サイズ | 4～8 インチdia. |
| 排気操作 | 自動式 |
| スバッタ方式 | DCマグネトロン／平行平板型 |
| 高圧電源 | 0.8 1.4kv ／ 0～50mA |
| 到達圧力 | 8Pa |
| チャンバーサイズ |
240(dia.)x240(depth)mm (ステンレス製) |
| タイマー | 0～15 min連続 |
| ガス導入機構 | ニードルバルブ |
| 排気装置 |
直結型ロータリーホンブ 100L／min(自動リーク付) |
| 設置電源 | 单相AC100V 50／60Hz 10A |
| 寸法‧重量 |
本体：282(W)x450(D)x440(H)mm, 20kg PP：460(W)x175(D)x265(H)mm. 22kg |
TOP
