CHINMAX PRODUCT
中茂儀器股份有限公司 代理經銷各種膜厚測試儀器
乾燥製程設備、 環境測試設備、腐蝕試驗設備、 各種泛用型儀器
簡易型導電膜濺鍍機
產品特色
SC-701MK II ECO
- 電子顯微鏡樣品製作備用塗布機
- 一件操作簡單
- 採用磁控陰極減少離子損傷
- 體積小、重量輕
【日本SANYU快速濺鍍機】
使用脈衝直流電漿濺鍍。其主要原理是在真空環境，將陰極加至數百伏特電壓，讓通入的氣體因高電壓而起輝光放電作用形成電漿，並利用電漿的正離子轟擊金屬靶材表面，以能量轉移方式，將靶材原子擊出而濺射沉積於工件上，進行薄膜沉積。
SC-701MK II
| ターゲットサイズ | 49mm dia. ／ Aux1 |
|---|---|
| 試料台サイズ | 50mm dia. (T-S間調節範囲 20,30, 40mm) |
| 排気操作 | 手動式 |
| スバッタ方式 | DCマグネトロン／平行平板型 |
| 間欠スバッタ機構 | Duty cycle 20% |
| 高圧電源 | 1.2kv／0～9.9Ma |
| 到達圧力 | 5Pa |
| チャンバーサイツ | 90(dia.)x90(depth)mm (SUS製) |
| タイマー | 0～15 min (最長30min) |
| ガス導入機構 | ニードルバルブ 導入口径外径Φ６mm ワンタッチ継手 |
| 排気装置 | 直結型ロータリーホンブ 20L／min(自動リーク付) |
| 設置電源 | 单相AC100V±10% 50／60Hz 7A |
| 寸法‧重量 | 本体：160(W)x326(D)x286(H)mm, 10kg PP：295.5(W)x156(D)x199.5(H)mm. 9kg |
| オブションターゲット | Ag, Pt, Pd, Au-Pd, Pt-Pd |
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